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1、微波發(fā)生源：俗稱磁控管，它將電能轉(zhuǎn)化為微波能。

2、微波腔體：即工業(yè)微波烘干設(shè)備的內(nèi)部空間，物料在微波腔體內(nèi)被加熱干燥或滅菌。

3、輸送物料機(jī)構(gòu)：指軌道或傳送帶等輸送機(jī)構(gòu)。

4、抑制部分：如微波爐門、抑制器和其它抑制機(jī)構(gòu)，防止并控制微波泄露達(dá)到國標(biāo)要求。

5、波導(dǎo)：由微波發(fā)生源發(fā)出的微波經(jīng)波導(dǎo)激勵腔進(jìn)入微波腔體內(nèi)，其作用是將微波的能量通過波導(dǎo)的激勵取出所需要的模式到需要加熱干燥殺菌的載體上。

6、排濕排熱機(jī)構(gòu)：排出微波箱體內(nèi)的蒸汽和電源箱內(nèi)的電熱氣，解決微波箱體內(nèi)的過熱過溫問題。

7、測量系統(tǒng)：如測量物料的溫度和干燥室內(nèi)的濕度，這些測量數(shù)據(jù)直接通過儀表顯示出來。

8、自動控制系統(tǒng)和操作界面：這一部分主要包括(PLC)可編程控制器和觸摸屏。由可編程控制器接收測量數(shù)據(jù)和設(shè)備各部分的有關(guān)信號，并接受操作人員的控制，從而控制整臺設(shè)備的運(yùn)行，通過觸摸屏設(shè)置各種工藝參數(shù)和顯示工作過程中的有關(guān)狀態(tài)。

9、其它：如電力驅(qū)動部分，冷卻機(jī)構(gòu)，安全保護(hù)和聲光報警，其它配套部分等可按要求設(shè)置。

微波技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，工業(yè)微波設(shè)備的結(jié)構(gòu)形式、功率配置和附屬機(jī)構(gòu)是根據(jù)具體生產(chǎn)工藝而確定的。